【摘 要】
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采用直流反应磁控溅射的方法制备TiO2薄膜,用XRD、SEM和UV-Vis分别表征TiO2薄膜的晶体结构、表面形貌及其紫外-可见光吸收谱。并用此材料制备MSM光电导型TiO2薄膜紫外光探测
【机 构】
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北京石油化工学院数理系,北京,102617
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采用直流反应磁控溅射的方法制备TiO2薄膜,用XRD、SEM和UV-Vis分别表征TiO2薄膜的晶体结构、表面形貌及其紫外-可见光吸收谱。并用此材料制备MSM光电导型TiO2薄膜紫外光探测器,研究其光电特性。实验结果表明,TiO2探测器在紫外区有较高的光电流：在紫外波段230-300nm有很明显的光响应,光电流谱线近乎平坦；且其光响应的上升迟豫时间约为3s,下降响应时间约为15s.表明TiO2可作为一种良好的紫外探测材料。
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