【摘 要】
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<正>【技术简介】单晶炉是生产单晶硅的主要设备,单晶炉中装配的石墨热场用于熔化多晶硅,石墨热场和生长工艺设计的好坏决定单晶硅的品质、生产效率和电能消耗。公司通过对原
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<正>【技术简介】单晶炉是生产单晶硅的主要设备,单晶炉中装配的石墨热场用于熔化多晶硅,石墨热场和生长工艺设计的好坏决定单晶硅的品质、生产效率和电能消耗。公司通过对原有18英寸及20英寸单晶炉热场系统的加热温区梯度、加热器的材料、电阻加热器和保温材料温度传导性的研究,提出通过改变单晶炉热场抽气口、改变保护气体流动方向、设计新型辐射隔绝导流筒和重新选择加热
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