【摘 要】
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本文提出一種量測數值孔徑修正係數的新方法,稱之為「雙傾角影像法」.將反射鏡貼附於方規上表面,使方規置於干涉顯微鏡之載台上,並導入單波長光源.另於方規側邊架上自動視準
【机 构】
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工業技術研究院量測技術發展中心,新竹,300
【出 处】
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第五届海峡两岸计量与质量学术研讨会
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本文提出一種量測數值孔徑修正係數的新方法,稱之為「雙傾角影像法」.將反射鏡貼附於方規上表面,使方規置於干涉顯微鏡之載台上,並導入單波長光源.另於方規側邊架上自動視準儀,以量測方規之傾斜角度.調整載台做正反向傾斜後,分別紀綠此二傾角之干涉條紋影像,再利用弦波擬合法由影像求出空間頻率值,最後由上述各量測值可求出此修正係數.我們以一放大倍率為10倍之Mirau型干涉顯微鏡鏡頭為待測對象,測得修正係數值為1.01936,另外由於量測方法之設計,使得此修正係數值可追溯至長度與角度標準,依此評估其相對標準不確定度值為5.7×10-4。
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