【摘 要】
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从激光烧灼原理出发，本篇文章讨论了用脉冲激光沉积法镀制两种材料的双层薄膜特征，同时用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜形貌做了分析，测试结果显示材料的相对原子质量因素与薄膜形貌好坏密切相关：相对原子质量大的靶原子沉积在下层，相对原子质量小的靶原子沉积在上层，这样镀制的双层薄膜效果更好。文章分析这是由于相对原子质量大的原子在溅射时动量更大，对已形成薄膜表面的冲击破坏性更强，使薄膜变得疏松多空穴，表面易龟
【机 构】
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四川大学电子信息学院, 四川成都610064
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从激光烧灼原理出发，本篇文章讨论了用脉冲激光沉积法镀制两种材料的双层薄膜特征，同时用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜形貌做了分析，测试结果显示材料的相对原子质量因素与薄膜形貌好坏密切相关：相对原子质量大的靶原子沉积在下层，相对原子质量小的靶原子沉积在上层，这样镀制的双层薄膜效果更好。文章分析这是由于相对原子质量大的原子在溅射时动量更大，对已形成薄膜表面的冲击破坏性更强，使薄膜变得疏松多空穴，表面易龟裂，所以相对原子质量大的靶原子应沉积在底层。
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