93000集成电路测试系统检定方法研究

来源 :2007计量与测试学术交流会(ICMM 2007) | 被引量 : 0次 | 上传用户:pppp7799
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93000集成电路测试系统是我国使用最多的高档次测试系统。介绍了采用内部参考溯源法对93000进行检定的原理和方法。根据该系统的工作原理和特性,其检定过程分为=三部分:溯源检定、基础检定和自动检定。通过外接溯源仪表和检定专用装置,结合系统工作站检定软件的运行,实现对93000集成电路测试系统的检定,保证了系统测试数据的准确性和可靠性,确保其量值能朔源到国家/国防基准。
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