【摘 要】
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微驱动技术是当今科技中最为活跃的研究领域之一.微驱动技术,即利用微位移致动器驱动实现高精度定位和运动的技术.随着科学技术的发展,作为纳米行业的关键技术之一,微驱动技术在众多领域有着越来越广泛的应用,如生物细胞、聚合物的各种操作,微外科手术,扫描探针显微镜SPM,原子力显微镜AFM,光纤对接,微细加工,半导体制版的精密定位,以及微纳操作等.该项目在这样的研究和应用背景下,提出一种跨尺度精密定位技术—
【出 处】
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第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)
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微驱动技术是当今科技中最为活跃的研究领域之一.微驱动技术,即利用微位移致动器驱动实现高精度定位和运动的技术.随着科学技术的发展,作为纳米行业的关键技术之一,微驱动技术在众多领域有着越来越广泛的应用,如生物细胞、聚合物的各种操作,微外科手术,扫描探针显微镜SPM,原子力显微镜AFM,光纤对接,微细加工,半导体制版的精密定位,以及微纳操作等.该项目在这样的研究和应用背景下,提出一种跨尺度精密定位技术—粘滑驱动,对其中的关键技术进行研究.该项目的研究成果将为纳米精度跨尺度运动技术提供理论基础和技术方法,对促进我国微电子、微/纳制造、纳米材料、光学和生物科学等学科技术领域发展具有重要的理论价值和现实意义.
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