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提出了一种具有高堆积密度的新型结构微型温差电池，它由大量相互间以电串联的方式相连接的n型和p型薄膜温差电腿构成。采用电化学MEMS技术制备出了2个具有这种新型结构的微型温差电池。这两个微型温差电池的尺寸均为25mm(长)×4mm(宽)×1mm(厚)，其中集成了160对温差电腿，但温差电腿的尺寸不同，分别为3.6mm(长)×0.4mm(宽)×20μm(厚)和3.6mm(长)×0.4mm(宽)×50μm(厚)。这两个微型温差电池在室温、20K温差条件下的开路电压、最大输出功率以及对应的功率密度分别为630mV、35μW、357μW·cm-3和660mV、77μW、770μW／cm3。这表明，电池中薄膜温差电材料的厚度对电池性能有着重要影响。