横向加速度传感器设计及特性研究

来源 :第五届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangchuan2ll
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作者提出了一种采用硅微机械加工技术制作垂直梁的方法,并用这样的设计制造了一种可用来测量平行于器件表面加速度分量的横向加速度传感器。测试表明传感器的灵敏度为0.5mv/g/5V,第一共振频率为1.35KHz,与一般压阻型加速度传感器的特性相当。该传感器的研制成功为研制三维加速度传感器提供了新思路。
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