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用IBAD技术制备的TiO<,2>薄膜的结构分析研究
【机 构】
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科学技术大学材料科学与工程系(合肥)
【出 处】
：
第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会
【发表日期】
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1997年期
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