【摘 要】
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该文主要以TiCl为原料，研究了制备TiO薄膜的工艺过程，并对薄膜的微观结构进行了TEM分析。TiCl加入尿素后加热水解，产生的沉淀经离心水洗，加入冰乙酸后超声处理即形成溶胶。浓度为
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该文主要以TiCl<,4>为原料，研究了制备TiO<,2>薄膜的工艺过程，并对薄膜的微观结构进行了TEM分析。TiCl<,4>加入尿素后加热水解，产生的沉淀经离心水洗，加入冰乙酸后超声处理即形成溶胶。浓度为0.12-0.18M之间的TiO<,2>溶胶均适于在硅基片上制备TiO<,2>薄膜，X衍射表明450℃热处理的样品中锐钛矿和金红石相共存。高温烧结下的薄膜晶粒大小趋于均匀。
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