半导体微型加速度计梳状结构之流志阻尼分析

来源 :第二届海峡两岸航空航天技术暨流固耦合学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:buxingzhe3
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半导体微型加速度计梳关感测微结构之周遭流场,为一个二维、时变、不可压缩、具周期性边界条件之H-S偏微分方程问题,该文具解析解。但由于尺寸缩小之关系,扩散效应极为显著,故该速度场之偏微分系统,可藉雷诺数趋于渐近展开理论描述之。该文以复数平面之分离变数法,处理速度场之零皆热扩散偏微分方程组,除了得到枋状结构周遭之近似流场外,普进一估算其续振因子与阻尼比,可作为微型加速度计动态性能预测之依据。
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