【摘 要】
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圆柱形状测量的准确与否很大程度上要依赖于滤波器对工件表面的高、中频信号和各种干扰信号滤除的准确与否, 为了准确科学地提取圆柱表面轮廓形状信号,本文将具有零相位特性
【机 构】
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中国计量科学研究院长度计量与精密测试技术研究所;
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圆柱形状测量的准确与否很大程度上要依赖于滤波器对工件表面的高、中频信号和各种干扰信号滤除的准确与否, 为了准确科学地提取圆柱表面轮廓形状信号,本文将具有零相位特性的高斯滤波器引入超精密圆柱度测量中,并针对超精密圆柱标准器的特殊性需求,研制了超精密圆柱轮廓用高斯形状滤波器。为保证离散化后的高斯形状滤波器的滤波准确性,本文证明了离散高斯滤波无偏差的特性。为了验证所研制的超精密高斯形状滤波器的性能,与德国物理研究院(PTB)研制的高斯形状滤波器进行了43 200个截面圆轮廓点的点对点比较,其最大滤波误差不超过±0.3nm,证明所建立的超精密圆柱形状高斯滤波器具有非常好的准确性和复现性,这是保证圆柱度准确测量和评价的重要基础。
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