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本文将介绍国外电系统(MEMS)基础理论与基础技术方面的研究工作及产业发展状况.还将介绍我国在MEMS方面的经费投入、立项、主要研究.单位以及十年来有代表性的研发工作.
微机电系统的发展趋势及国内外研发状况
【摘 要】
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本文将介绍国外电系统(MEMS)基础理论与基础技术方面的研究工作及产业发展状况.还将介绍我国在MEMS方面的经费投入、立项、主要研究.单位以及十年来有代表性的研发工作.
【机 构】
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大连理工大学MEMS中心
【出 处】
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中国科协2001年学术年会
【发表日期】
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2001年期
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