MEMS基高性能半导体微型传感器的设计与构建

来源 :第十九届全国半导体物理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fsp
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氧化物电阻型薄膜气体传感器,由于其成本低廉、制作简单、使用方便及兼容性好等优点,在许多领域有着广泛的应用.[1]而发展用于高端领域的高性能气敏器件,一直是人们所追求的目标与面临的挑战.
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