【摘 要】
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为了避免陶瓷管气敏元件制备过程中研磨对材料形貌的破坏,本文开发了一种新颖的纺丝方法,"分步加热纺丝法",即在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上直接纺丝出中空分级的SnO2-ZnO复合纳米纤
【机 构】
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大连理工大学电子科学与技术学院,大连116023
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
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为了避免陶瓷管气敏元件制备过程中研磨对材料形貌的破坏,本文开发了一种新颖的纺丝方法,"分步加热纺丝法",即在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上直接纺丝出中空分级的SnO2-ZnO复合纳米纤维.该Si/SiO2/Ti/Pt衬底是用标准的MEMS工艺制备而成.详细分析了S1Z1复合纤维优异的甲醇气敏响应特性的可能原因:(1)独特形貌,中空且表面为介孔状的特殊结构为目标气体的吸附提供了更多的活性位点;(2)催化效应,ZnO的协同催化效应会提高目标气体吸-脱附过程中的电子输运效率;(3)异质结,SnO2和ZnO晶粒界面处的同型异质结,降低了电子输运的势垒高度同时提高了材料表面与吸附氧之间的电子转移效率,从而有利于气敏响应特性的增强.详尽描述了SnO2-ZnO异质结表面吸附甲醇前后的能级及空间电荷层的变化.
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