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会议论文
影响多晶硅品质的因素
影响多晶硅品质的因素
来源 :第29届全国氯碱行业技术年会暨第12届“佑利杯”论文交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mazipeng
【摘 要】
:
在三氯氢硅加氢还原生产多晶硅过程中,影响产品品质的因素有:三氯氢硅提纯、三氯氢硅加氢还原和外来杂质等,受多晶硅分析要求精度高和分析手段不足的影响,建议从整个多晶硅生
【作 者】
:
董前程
【机 构】
:
江西景德半导体新材料有限公司,江西 景德镇 333000
【出 处】
:
第29届全国氯碱行业技术年会暨第12届“佑利杯”论文交流会
【发表日期】
:
2011年期
【关键词】
:
多晶硅
三氯氢硅
加氢还原
硅分析
外来杂质
生产工艺
产品品质
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在三氯氢硅加氢还原生产多晶硅过程中,影响产品品质的因素有:三氯氢硅提纯、三氯氢硅加氢还原和外来杂质等,受多晶硅分析要求精度高和分析手段不足的影响,建议从整个多晶硅生产工艺来分析和判断多晶硅杂质产生的原因。
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