影响多晶硅品质的因素

来源 :第29届全国氯碱行业技术年会暨第12届“佑利杯”论文交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mazipeng
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  在三氯氢硅加氢还原生产多晶硅过程中,影响产品品质的因素有:三氯氢硅提纯、三氯氢硅加氢还原和外来杂质等,受多晶硅分析要求精度高和分析手段不足的影响,建议从整个多晶硅生产工艺来分析和判断多晶硅杂质产生的原因。
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