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Simulation of a complete triple turbo molecular pumping stage using direct simulation Monte Carlo in
【机 构】
：
Ingenieurbuero Dr.-Ing.Martin Rose,Goldmuehlestr,6,71065 Sindelfingen,Germany
【出 处】
：
29th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics(第29届国际
【发表日期】
：
2014年期
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