VG-1 高灵敏真空控制仪的研制

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【摘要】

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本文介绍了应用扩散硅压力传感器研制的 VG- 1高灵敏真空控制仪测量方法 This article describes the application of diffused silicon pressure sensor developed VG-1 hi

【作者】

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吴春阳康宁孙旭

【机构】

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东北微电子技术研究所!辽宁沈阳110032,沈阳真空技术研究所!辽宁沈阳110042,沈阳真空技术研究所!辽宁沈阳110042

【出处】

：

真空

【发表日期】

：

2000年01期

【关键词】

：

高灵敏扩散硅压力传感器真空控制仪应用

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本文介绍了应用扩散硅压力传感器研制的 VG- 1高灵敏真空控制仪测量方法 This article describes the application of diffused silicon pressure sensor developed VG-1 highly sensitive vacuum control instrument measurement method

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