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使用两个具有相同参数的杯型金刚石砂轮分别对SiC陶瓷进行超声辅助磨削和普通磨削试验，在去除一定体积的材料后，测出相应的磨削力和工件表面的粗糙度，并使用三维视频显微镜对砂轮上的磨粒进行跟踪观察。研究发现，在试验条件下用于超声辅助磨削的砂轮，其主要磨损形式是磨耗磨损，砂轮上没有出现磨粒脱落的现象。超声辅助磨削中超声振动的加入有利于减小磨削力，但是随着砂轮磨损的加剧，超声振动所引起的磨削力降幅有所减小。超声振动的加入也减小了磨削表面的粗糙度值，随着砂轮磨损加剧，磨削表面粗糙度变化不大。