Al基和Cu基半导体的连接

被引量 : 0次 | 上传用户:cuixy3
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
为了在基体表面上得到易钎焊表面,在电子工业中通常使用化学镀镍或浸润镀金的方法。近些年,由于镀层技术的提高以及化学镀层方法价格低廉,使得这种方法在半导体的应用上得到广泛的使用,如半导体薄片的金属化。这篇文章主要研究了Al基和Cu基半导体的化学镀镍和浸润镀金。镍基电镀溶液是次磷酸盐溶液,金基镀层溶液是无氰硫酸盐溶液。在Al镀层过程中需要使用Zn电离发法促使Ni的生长,在Cu镀层过程中需使用Pa作为表面的催化剂。为了保证可重复性,需严格控制化学、设备和时间等过程变量。通过俄歇分析研究纯金镀层和Ni/P。通过对表面镀镍的I/O基片进行剪切试验来评价化学镀镍/Au层之间的连接质量。表面镍层通过多次的温度循环试验和剪切强度试验进行检测,结果表明没有剪切载荷的降低和断裂模式的降级。将表面镀镍和镀金的I/O基片用于电丝键合和倒装连接。将金线与表面镀镍和金的I/O基片连接后用于球剪切、线拉伸,并对其进行断裂分析。由于在电线中存在电线拉伸试验模式和在球剪切研究中存在金属间化合物断裂,因此试验结果超过了产品技术的要求。在倒装晶片的研究中,通过采用模板印刷技术镀几种不同钎料合金后,通常研究化学镀Ni/Au层。本文采用两种试验工具对63Sn/37Pb和90Pb/10Sn两种钎基钎料和95.5Sn/3.8Ag/0.7Cu无铅钎料进行钎焊接头试验。为了评价这些合金与化学镀镍层的兼容性,需进行钎料剪切试验。在这三种钎料中,都没有剪切载荷的降低或断裂模式的降级,这说明再流过程中,没有决定性的Ni消耗。同时,对钎焊接头冶金厚度为1、2和5μm的Ni进行了额外的对比试验。在试验结果中,同样也没有发现决定性的Ni被消耗。
其他文献
为了解决基于以太网的网络控制系统中数据传输时延给控制品质带来不良影响的问题,从融合控制技术与网络通信技术的角度出发,提出了一种新的控制方案,即运用在线时延估计方法
我国正处于二十一世纪经济发展的重要时期,此时,我国全球经济一体化的经济现状,使得不少企业开始改变自己的经营方针。我国银行在金融届发展时尚未从长远的监督考虑,参与国际
以钛酸四丁脂为前驱物,采用溶胶-凝胶法制备TiO2纳米粉体.在制备过程中,抑制剂HNO3的加入可有效地降低TiO2纳米粒子的粒径.利用XRD、TEM等分析测试手段对制备的TiO2粉体的晶
当前,随着石油峰值的来临和我国面临的石油资源匮乏的危机,国家将大力推进石油的战略储备工作,这也使得我国将加大对大型储罐的投资建设。但由于地理位置的影响,储罐会受到地
精准扶贫最根本的要义在于反贫困政策和举措要靶向真正贫困的家庭和人口,在此基础上通过对贫困人口开展有针对性的帮扶,逐步发现并消除导致贫困难以根除的各种因素和障碍,最
讨论了一类双对称非负定矩阵反问题,得到了有解的充要条件及解的具体表达式;并讨论了解对于已知矩阵的最佳逼近问题,求得解的表达式.
本研究拟对失地农民的幸福感进行初步研究,并为和谐社会的构建提供建议。研究通过随机抽取意识清楚、有阅读能力或言语表达能力的失地农民进行问卷调查,调查内容包括个人基本
论述了支持向量机(support vector machine)的分类和回归算法,并对近年来SVM在设备状态趋势预测方面的应用进行了分析,指出了其应用研究中的优点和不足,展望了SVM在设备状态
以硫酸氢钠为催化剂,对以乙酸和正戊醇为原料合成乙酸戊酯的反应条件进行了研究,并分析了醇酸摩尔比、催化剂用量、反应时间、回流温度诸因素对收率的影响.实验结果表明,硫酸
为了查明港珠澳大桥隧道区的水文地质条件,根据水文气象资料、水的化学分析、抽水试验、CPTU(测孔压静力触探),并结合地形地貌、地层情况、土的物理力学性质,对港珠澳大桥岛