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<正>传统的化学增幅型光致抗蚀剂需加入小分子产酸剂,从而影响了其与成膜树脂的兼容性,在后烘过程中易出现相分离、酸分布不一致等问题,影响分辨率和线边缘粗糙度。若将产酸剂、阻溶促溶剂和成膜树脂合成在一个聚合物分子上,组成单组分抗蚀剂,即
基于聚对羟基苯乙烯的单组份深紫外光致抗蚀剂研究
【摘 要】
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<正>传统的化学增幅型光致抗蚀剂需加入小分子产酸剂,从而影响了其与成膜树脂的兼容性,在后烘过程中易出现相分离、酸分布不一致等问题,影响分辨率和线边缘粗糙度。若将产酸
【机 构】
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北京师范大学化学学院;
【发表日期】
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2004年期
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