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ＳｎＯ<,2>－ＳｉＯ<,2>双层薄膜氢敏元件的特性研究
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所
【出 处】
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第三届全国气湿敏传感技术学术会议
【发表日期】
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1994年期
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