氮化镓材料的应用及其生长氮化镓的MOCVD设备

来源 :上海市科协第十一届学术年会专题学术年会——2013上海半导体材料学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wanghldss

【摘要】

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OutlineGaN Material and its ApplicationsAMEC Prismo D-BlueTM MOCVD Platform & its Process ResultsSummary Materials Band-gap and Lattice ConstantPolarity in c-pl

【作者】

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郭世平

【机构】

：

中微半导体设备有限公司

【出处】

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上海市科协第十一届学术年会专题学术年会——2013上海半导体材料学术年会

【发表日期】

：

2013年10期

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OutlineGaN Material and its ApplicationsAMEC Prismo D-BlueTM MOCVD Platform & its Process ResultsSummary Materials Band-gap and Lattice ConstantPolarity in c-plane GaN

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