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加工工艺是限制微陀螺性能提高的关键因素,本文对典型解耦型微机械陀螺原理分析基础上,与加工工艺结合进行结构设计,利用溶片工艺进行加工制作,对所加工的微陀螺通过显微测量和测试来分析加工工艺的偏差,以及由此对最终微陀螺所带来的影响,结果表明这种影响较大,同时通过真空度试验可以看出,对微陀螺进行真空封装可以大大改善性能。