【摘 要】
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无机柔性电子同时具有无机半导体材料优良的物理电化学性能和有机材料良好的柔韧性能，近年来成为全球电子产业界与学术界关注的新焦点。在实际应用过程中，这种结构不可避免
【机 构】
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清华大学工程力学系,北京,100084
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无机柔性电子同时具有无机半导体材料优良的物理电化学性能和有机材料良好的柔韧性能，近年来成为全球电子产业界与学术界关注的新焦点。在实际应用过程中，这种结构不可避免的需要承受反复的弯曲和拉伸等变形，此时薄膜-基底形成的界面层很有可能发生破坏(例如脱粘、滑移)。然而，由于柔性基底具有很好的柔性性，传统的界面韧性的测量方法都不适用。本文提出了一种用压曲实验来测量软界面滑移破坏的方法，并设计了加载设备。压曲实验过程简单易操作，同时，还能用电子显微镜下在线观察加载过程中的界面破坏情况。最后，采用断裂力学的方法对实验数据进行分析可以得到软界面滑移破坏时的韧性。此实验方法能对柔性电子结构的设计提供很有意义的指导。
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