【摘 要】
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在Mirau型结构的干涉显微物镜中,若分光平板与参考平板存在厚度差△d,则光路无法补偿,两平板厚度差△d会导致参考光路与测试光路产生附加光程差(n-1)△d,并在干涉中引起附加相位差△φ.由于不同波长的光在同一种玻璃中的折射率n不同,并且折射率n随着波长的变化为非线性,因此不同波长的光产生的干涉条纹会引起不同程度的位移,此位移随着波长的变化也为非线性.基于白光干涉显微原理,将白光干涉看成是不同波长
【机 构】
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南京理工大学电光学院,南京,210094
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在Mirau型结构的干涉显微物镜中,若分光平板与参考平板存在厚度差△d,则光路无法补偿,两平板厚度差△d会导致参考光路与测试光路产生附加光程差(n-1)△d,并在干涉中引起附加相位差△φ.由于不同波长的光在同一种玻璃中的折射率n不同,并且折射率n随着波长的变化为非线性,因此不同波长的光产生的干涉条纹会引起不同程度的位移,此位移随着波长的变化也为非线性.基于白光干涉显微原理,将白光干涉看成是不同波长的光产生的干涉叠加,则每一个波长的位移量不同将导致白光干涉条纹对比度的降低,中心条纹的偏移和光强下降,以及条纹不对称等一系列问题.
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