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基于MEMS工艺的平面环形微腔,由于特有的结构而拥有极高的品质因数和极低的模式体积而具有显著的量子效应,在光量子器件、光集成、光网络以及光量子计算机等信息领域有重要的应用。品质因数Q作为表征微腔质量的重要参量,主要受到微腔表面粗糙度的制约。本文介绍了一种环形微腔的表面处理方法:利用高功率CO2激光器进行微腔表面处理。实验结果证明:此方法不仅最终使得环形微腔成型,而且经高功率CO2激光器处理后的微腔表面光洁度明显提高。这对高Q值环形微腔的制备以及其在各个应用领域的应用有重要的意义。