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在真空低温的苛刻环境下，测试了盘形行波型超声马达的机械特性和转速稳定性。提出输出总功率的概念，来分析在真空低温下超声马达性能的变化情况。针对超声马达结构的特点，探讨了非常态下制作超声马达的关键技术，如胶粘剂、摩擦材料、压电陶瓷等，以指导非常态下的超声马达设计。结果表明，采用低温胶制作定子时，超声马达在低真空5Pa和低温-80℃环境下仍能运行。Ekonol基复合材料的摩擦性能受温度的影响较小，适合低温使用。此外，在此恶劣环境下，为保证性能稳定，应选用经低温老化的压电陶瓷和低温轴承。