2.17 GHz高Q射频薄膜体声波谐振器的研制

来源 :中国科学院声学研究所第三届青年学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:salih0997
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薄膜体声波谐振器是GHz频段的“晶体谐振器”,可用来构成射频前端的滤波器、双工器以及低相噪的射频振荡器等,在现代通讯系统中具有很大的应用前景。本文采用MEMS技术制备了基于ZnO压电薄膜的射频薄膜体声波谐振器,其谐振频率达到2.17GHz,Q值达到972,而体积小于1mm3,可望应用于高性能的射频振荡源中。
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