【摘 要】
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在纳米级机床、动力调谐陀螺、精密天平、可控反射镜等高精度,高带宽仪器中柔性支承起着决定性的作用.柔性支承有结构紧凑,无摩擦,无间隙,以及高分辨率等特点.分析单自由度,多自由度柔性支承的设计;分析柔性支承的在各方向的刚度,以设计出合理的支承结构,控制系统的结构谐振模态;分析结构中各阶模态的耦合情况,以及如何减小各阶模态之间的耦合;利用有限元法对柔性支承进行优化设计.
【出 处】
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第七届全国激光科学技术青年技术交流会
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在纳米级机床、动力调谐陀螺、精密天平、可控反射镜等高精度,高带宽仪器中柔性支承起着决定性的作用.柔性支承有结构紧凑,无摩擦,无间隙,以及高分辨率等特点.分析单自由度,多自由度柔性支承的设计;分析柔性支承的在各方向的刚度,以设计出合理的支承结构,控制系统的结构谐振模态;分析结构中各阶模态的耦合情况,以及如何减小各阶模态之间的耦合;利用有限元法对柔性支承进行优化设计.
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