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玻璃与金属阳极键合机理及其在MEMS封装中的应用
【机 构】
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太原理工大学 材料科学与工程学院
【出 处】
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2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
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2014年期
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