【摘 要】
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随着光通信网络对光信号处理速度要求的不断提高，具有高速度、高带宽和低功耗的极化聚合物波导电光调制器，成为极具发展潜力的光子器件.波导电光调制器主要是利用聚合物电光材料的二阶非线性效应实现对光信号的调制，所以电光材料在波导结构中所表现出的非线性大小与稳定性是影响电光调制器性能的关键因素.在实际的器件工艺中，包层中的溶剂会对电光层中的生色团分子产生侵蚀作用，导致波导出现层间互溶现象，这是导致电光材料失
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区;林大学电子科学与工程学院,长春,130012
【出 处】
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中国光学学会纤维光学与集成光学专业委员会全国第15次光纤通信暨第16届集成光学学术会议
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随着光通信网络对光信号处理速度要求的不断提高，具有高速度、高带宽和低功耗的极化聚合物波导电光调制器，成为极具发展潜力的光子器件.波导电光调制器主要是利用聚合物电光材料的二阶非线性效应实现对光信号的调制，所以电光材料在波导结构中所表现出的非线性大小与稳定性是影响电光调制器性能的关键因素.在实际的器件工艺中，包层中的溶剂会对电光层中的生色团分子产生侵蚀作用，导致波导出现层间互溶现象，这是导致电光材料失效或非线性效应下降的重要原因之一.本文以实验室自主合成的主客掺杂型电光材料DR1/SU-8为研究对象(DR1与SU-8 2005的质量比为0.15∶4)，利用旋涂方法在硅衬底上制备DR1/SU-8薄膜(n=1.5842@1550nm).采用以下三种处理方法研究如何克服DR1/SU-8薄膜与包层间的互溶问题，并对多层薄膜的电光系数γ 33和波导传输损耗特性进行了测试分析：1)直接旋涂、固化获得DR1/SU-8薄膜；2)经加温固化、曝光交联获得的DR1/SU-8薄膜；3)经加温固化、曝光交联和高温热处理后获得的DR1/SU-8薄膜.
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