【摘 要】
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本文利用离子注入的方法将剂量分别为5×1015、1×1016、5×1016、1.0×1017 ions/cm2，能量为45 keV的Zn离子注入光学级的石英（SiO2）玻璃基片中，在O2气氛围中不同温度下对样品进行退火以促进纳米颗粒的成核与增长。我们采用紫外-可见分光光度计（UV-Vis）、原子力显微镜（AFM）、掠角X射线衍射仪（GXRD）对样品进行测量分析。UV-Vis结果显示，当剂量大于或等
【机 构】
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天津大学理学院物理系 天津 300072 天津大学理学院物理系 天津 300072 天津市低维功能
【出 处】
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第二届全国核技术及应用研究学术研讨会
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本文利用离子注入的方法将剂量分别为5×1015、1×1016、5×1016、1.0×1017 ions/cm2，能量为45 keV的Zn离子注入光学级的石英（SiO2）玻璃基片中，在O2气氛围中不同温度下对样品进行退火以促进纳米颗粒的成核与增长。我们采用紫外-可见分光光度计（UV-Vis）、原子力显微镜（AFM）、掠角X射线衍射仪（GXRD）对样品进行测量分析。UV-Vis结果显示，当剂量大于或等于1×1016ions/cm2时，注入层在260nm左右存在一个明显的吸收峰，吸收峰强度随剂量的增加而增加。并且随着退火温度的升高，吸收峰发生蓝移，表明纳米颗粒的尺寸发生了变化。GXRD及AFM结果进一步证明了纳米颗粒的形成及其演变。GXRD的结果显示600℃退火是Zn纳米颗粒演变成ZnO纳米颗粒的阈值温度，800℃退火后Zn和ZnO的纳米颗粒完全消失并完全转化成Zn2SiO4纳米颗粒。
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