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Influence of Oxygen Flow Rate on the Variation of Surface Roughness of Fused Silica during Plasma Po
【机 构】
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Thin Film Technique and Optical Test Laboratory,Xi'an Technological University,Xi'an 710032.China
【出 处】
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第四届国际表面与界面科学与工程学术会议(The Fourth International Conference on S
【发表日期】
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2009年期
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