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Y<,1>Ba<,2>Cu<,3>O<,7-δ>(YBCO)高温超导薄膜溅射生长所遇到的主要问题是负氧 离子的反溅射效应，该文实验了afterglow plasma溅射减弱负氧离子反溅射效应的作用，生长出了超导电磁性质优异的YBCO单晶薄膜，薄膜(005)峰摇摆曲线半高宽(FWHM)低至0.12°。