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电磁驱动电弧放电、气体离子刻蚀和增强镀膜技术
【机 构】
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北京丹普公司
【出 处】
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第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛
【发表日期】
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2017年12期
其他文献
本文提出在铝合金微弧氧化涂层表面中频磁控放电沉积Cr-DLC,以期获得高耐磨、低摩擦系数的高利用率的硬质薄膜。由于金属氧化物同金属化合物的原子构型有较大不同,造成在