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平面渐变螺旋ICPS介质基片对性能的影响
平面渐变螺旋ICPS介质基片对性能的影响
来源 :第十五届全国微波能应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:airkey1
【摘 要】
:
根据平面电感耦合微波等离子体源理论,采用自谐振方式,设计了一个谐振频率在2.45GHz的渐变结构式平面微带螺旋天线。为了得到ICPS的最佳性能,对不同介质进行数值仿真。研究
【作 者】
:
黄加华
廖斌
【机 构】
:
华东师范大学信息学院电子系,上海 200241
【出 处】
:
第十五届全国微波能应用学术会议
【发表日期】
:
2011年期
【关键词】
:
平面
渐变
微带螺旋天线
介质基片
性能
谐振频率
介电损耗角正切
微波等离子体
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根据平面电感耦合微波等离子体源理论,采用自谐振方式,设计了一个谐振频率在2.45GHz的渐变结构式平面微带螺旋天线。为了得到ICPS的最佳性能,对不同介质进行数值仿真。研究结果表明,介质基片的介电常数对谐振频率影响很大,介电损耗角正切也影响品质因素。
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