【摘 要】
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采用基体自形核法,研究了光滑铜基体表面超声研磨预处理对于基体表面CVD单晶金刚石微粉沉积的影响.研究结果表明:未经超声研磨预处理的光滑铜基体表面单晶金刚石微粉形核密度
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院,上海,200240,中国
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采用基体自形核法,研究了光滑铜基体表面超声研磨预处理对于基体表面CVD单晶金刚石微粉沉积的影响.研究结果表明:未经超声研磨预处理的光滑铜基体表面单晶金刚石微粉形核密度极低,当预处理时间不超过1min时,可以在光滑铜基体表面获得形核密度较高又不会相互连接的单晶金刚石微粉,当预处理时间超过2min时,形核密度过高,金刚石晶粒会相互连接甚至生长成膜.沉积出的金刚石微粉纯度高,非晶碳含量少,表面光滑,可以观察到(111)(100)面,具有立方-八面体构型.符合高品级人造金刚石磨料的要求.
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