电真空器件残气质谱分析的特征研究

来源 :第十三届全国质谱分析和检漏会议、第八届全国真空计量测试年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Guihuaxuetu
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  质谱计真空系统本底气体对被分析气体的干扰程度是决定分析成败的因素,然而以显像管为代表的电真空器件残气质谱分析研究表明:电真空器件内的残气压强是制管和管子工作过程中管内吸气剂材料吸气后形成们的平衡压强,器件击破后质谱分析室本底气体会被吸气剂吸收.因质谱分析室放出的本底气体量一般远小于吸气剂在器件内原吸收的气体量,故器件内的残气压强的新平衡值增量可以忽略,故分析室本底不会影响正确的分析结果;大气漏入管内后只表现出该管内惰性气体氩的积累;只有吸气剂失效或吸气饱和后管内残气质谱图才反映出漏入的大气成份或分析室本底气体干扰的特征.
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