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本文设计和研制了一种能够对微尺度器件或结构进行动态力学性能测量的微散斑干涉平台,完成了微器件中薄膜的热震变形检测,检测结果表明,该系统能够对微尺度结构与器件的动态力学性能进行定量检测,其时间响应将主要取决于图像采集系统的动态采集水平。
微尺度结构与器件的动态力学性能检测系统研究
【摘 要】
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本文设计和研制了一种能够对微尺度器件或结构进行动态力学性能测量的微散斑干涉平台,完成了微器件中薄膜的热震变形检测,检测结果表明,该系统能够对微尺度结构与器件的动态力学性能进行定量检测,其时间响应将主要取决于图像采集系统的动态采集水平。
【机 构】
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清华大学工程力学系FML,北京,100084
【出 处】
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第十一届全国实验力学学术会议
【发表日期】
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2005年4期
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