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飞秒激光双光子微细加工技术以其特有的高精度三维柔性加工优势，在MEMS器件及微光学器件加工中有着广泛的应用前景。阐述了飞秒激光双光子加工技术的原理和特点。介绍了用自行研制的飞秒激光双光子微细加工系统加工出的一套可动的MEMS器件--齿轮轴系统、光驱动微型转子、微光学透镜阵列及木堆型光子晶体。并对飞秒激光双光子微细加工技术的应用前景进行了展望。