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在超大规模集成电路的生产中，离子注入是相当重要的工艺过程。离子注入机在净化间中占了很大的面积。在净化要求越来越高，净化费用越来越高的今天，如何缩小离子注入机的占地面积、减低运行成本是一个值得考虑的问题，探讨了离子注入机小型化的途径。
离子注入机小型化设想
【摘 要】
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在超大规模集成电路的生产中，离子注入是相当重要的工艺过程。离子注入机在净化间中占了很大的面积。在净化要求越来越高，净化费用越来越高的今天，如何缩小离子注入机的占地面积
【机 构】
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产业部电子第48研究所(长沙)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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