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多功能传感器信号互扰问题的计算机模拟
多功能传感器信号互扰问题的计算机模拟
来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lzfx_521
【摘 要】
:
对多晶硅压力-温度多功能传感器在大温度范围使用时,压力敏感元件和温度敏感元件之间的热场干扰进行了计算机模拟,结果表明:该传感器的温度敏感元件的热场对压力信号的干扰很
【作 者】
:
王蔚
刘晓为
桑胜田
张战峰
【机 构】
:
哈尔滨工业大学MEMS中心(哈尔滨)
【出 处】
:
第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
多功能
传感器
温度信号
计算
压力敏感元件
温度敏感元件
热场
干扰
压力信号
温度范围
精确标定
机模拟
多晶硅
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对多晶硅压力-温度多功能传感器在大温度范围使用时,压力敏感元件和温度敏感元件之间的热场干扰进行了计算机模拟,结果表明:该传感器的温度敏感元件的热场对压力信号的干扰很小,可以忽略;压力敏感元件的热场对温度信号的干扰需要通过对温度信号的精确标定来消除.
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