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双框架微机械陀螺的准LIGA工艺制备及其振动性能测试研究
双框架微机械陀螺的准LIGA工艺制备及其振动性能测试研究
来源 :中国电子学会'98敏感技术学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuaiboer
【摘 要】
:
研究了双框架微机械陀螺的厚度检测、控制技术,在此基础上采用该实验室自对准的准LIGA工艺制备出陀螺结构,其活动区面积为1.0 x1.0mm,框架厚度4μm。经加电测试,己观测到低频驱动
【作 者】
:
林爱民
杨根庆
【机 构】
:
科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
:
中国电子学会'98敏感技术学术年会
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
双框架微机械陀螺
工艺制备
振动
陀螺结构
控制技术
厚度检测
低频驱动
自对准
实验室
活动区
电测试
面积
空气
基础
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研究了双框架微机械陀螺的厚度检测、控制技术,在此基础上采用该实验室自对准的准LIGA工艺制备出陀螺结构,其活动区面积为1.0 x1.0mm<2>,框架厚度4μm。经加电测试,己观测到低频驱动下内、外框架在空气中的振动。
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