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溅射功率和气压对NbN薄膜的晶体取向和微观结构的影响研究
【机 构】
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北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室 济南大学物理科学与技术学院
【出 处】
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第十四届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会
【发表日期】
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2016年5期
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