论文部分内容阅读
物理气相沉积(PVD)技术制备的CrN涂层能够很好地提高各种工、模具和机械部件的抗氧化、耐腐蚀和摩擦学性能.溅射和阴极弧源方法的PVD技术在金属离化率的提高及大颗粒的排除等方面有了很大的改进,被广泛用于制备CrN涂层.本文概括了CrN涂层的不同PVD制备技术,讨论了氮气分压、基体偏压及过渡层等沉积参数对CrN涂层制备的影响,综述了CrN涂层的抗氧化、腐蚀性能和摩擦磨损特性.