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随着半导体集成电路的高速发展,器件结构日趋复杂,设计难度不断加大,计算机模拟技术因其强大的模拟仿真能力,时间成本的优越性,正扮演着越越来越重要的角色。本文着重介绍了从一维到三维,从微米级到纳米级器件模拟技术的发展,并结合几个常用的器件模拟软件进行了分析、比较和说明。
半导体器件模拟技术及软件发展与现状
【摘 要】
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随着半导体集成电路的高速发展,器件结构日趋复杂,设计难度不断加大,计算机模拟技术因其强大的模拟仿真能力,时间成本的优越性,正扮演着越越来越重要的角色。本文着重介绍了
【机 构】
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华南理工大学微电子所,广东 广州 510640 电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室,广东 广州 510610
【出 处】
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中国电子学会第十四届青年学术年会
【发表日期】
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2008年期
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