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皮秒激光已经越来多地应用到精细加工的各个领域.在薄膜太阳能电池加工中，皮秒激光有着巨大的应用价值.其超短脉冲，高重复频率的特性，能满足高质量高速度的加工，将逐步取代现有的纳秒激光加工技术.
皮秒激光在薄膜太阳能电池加工中的应用
【摘 要】
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皮秒激光已经越来多地应用到精细加工的各个领域.在薄膜太阳能电池加工中，皮秒激光有着巨大的应用价值.其超短脉冲，高重复频率的特性，能满足高质量高速度的加工，将逐步取代现有的
【机 构】
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上海市激光技术研究所 上海市激光束精细加工重点实验室上海市宜山路770号 200233
【出 处】
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上海市科协第七届学术年会—上海市激光学会2009年学术年会
【发表日期】
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2009年期
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