【摘 要】
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本论文采用各向异性蒙特卡罗方法模拟不同厚度的纳米薄膜退火过程中的晶粒尺寸演化，并采用磁控溅射方法制备纳米多晶薄膜，从理论模拟和实验两方面对纳米薄膜中的厚度效应进行研究。理论模拟和实验结果均表明，Burke方程不能准确描述纳米材料的厚度抑制效应，而本文将厚度因子引入后，建立了新的修正方程，该方程从理论解释和实验数据拟合上均优于Burke方程。
【机 构】
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上海交通大学材料科学与工程学院，上海 200240
【出 处】
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第九届全国固态相变、凝固及应用学术会议
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本论文采用各向异性蒙特卡罗方法模拟不同厚度的纳米薄膜退火过程中的晶粒尺寸演化，并采用磁控溅射方法制备纳米多晶薄膜，从理论模拟和实验两方面对纳米薄膜中的厚度效应进行研究。理论模拟和实验结果均表明，Burke方程不能准确描述纳米材料的厚度抑制效应，而本文将厚度因子引入后，建立了新的修正方程，该方程从理论解释和实验数据拟合上均优于Burke方程。
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