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正弦相位调制半导体激光自混合干涉微位移测量系统
正弦相位调制半导体激光自混合干涉微位移测量系统
来源 :长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huangli_java
【摘 要】
:
本文为提高激光自混合干涉仪的测量精度,研究了自混合干涉信号的正弦调制解调方法,将测量精度提高至纳米量级。
【作 者】
:
郭冬梅
王鸣
【机 构】
:
南京师范大学物理科学与技术学院,江苏省光电重点实验室,江苏,南京,210097
【出 处】
:
长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛
【发表日期】
:
2006年11期
【关键词】
:
微位移测量系统
测量精度
激光自混合干涉
正弦相位调制
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本文为提高激光自混合干涉仪的测量精度,研究了自混合干涉信号的正弦调制解调方法,将测量精度提高至纳米量级。
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